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精訊暢通推出了新型數字量MEMS氣體傳感器

2022-08-03 11:40:02 精訊暢通

物聯網技術中的關鍵技術之一就是傳感器技術。目前,MEMS傳感器已經廣泛應用在物聯網中的各個領域之中。近幾年,MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩步的增長。隨著消費電子、汽車電子產品等下游行業的快速發展、全球電子整機產業以及硬件創新市場逐漸向中國轉移,中國市場對于MEMS元器件的需求增速,遠高于全球MEMS市場的增速。

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MEMS中的核心元件一般包含兩類:一個傳感器或執行器,以及一個信號傳輸單元。傳感器將外界信號轉換為電信號,執行器與外界產生作用,信號傳輸單元能夠對信號進行處理以及與其他微系統連接。此類傳感器具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等優點,在諸多領域中具備傳統的機械傳感器所難以比擬的比擬的優勢。

產品概述

精訊暢通推出的數字量MEMS氣體傳感器是利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,所用氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環境空氣中被檢測氣體存在時傳感器電導率發生變化,該氣體濃度越高,傳感器的電導率就越高。在這種情況下,只需使用較為簡單的電路,即可將電導率的變化轉變為電流的變化,進而生成與該氣體濃度相對應的輸出信號。

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氣體傳感器采用數字量進行檢測數據的傳遞,該數據傳輸模式抗干擾性能好,同時不會因阻抗匹配問題影響測量的準確度,并且輸出數據更便于計算機系統進行數值運算分析,輸出數值不易產生附加誤差。

產品亮點

1.微型化設計。產品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應速度更快,同時,MEMS傳感器表面體積比高的特性,也意味著傳感器的敏感程度更高。

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2.高度集成。不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器和執行器,可以被集成于一體,形成高效、多功能的微傳感器陣列或微執行器陣列,在小體積狀態下實現更多功能。

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3.高溫、低溫環境下工作適應性良好。產品功耗較低,工作過程中基本不產生熱輻射,不會令周圍環境產生明顯的溫度濕度變化,不影響相關監測過程的進行。

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4.抗震性好。MEMS傳感器體積小、重量輕,處于震顫狀態下時不易發生形變或移位現象,可保持檢測性能處在正常狀態下。

5.使用壽命長。

產品參數

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可測氣體類型

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使用注意事項

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應用領域

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