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MEMS氨氣傳感器

MEMS氨氣傳感器的微熱板是利用MEMS工藝制作的,采用金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料。當環境空氣中有氨氣氣體存在時,MEMS氨氣傳感器的電導率會發生變化。氨氣氣體的濃度越高,MEMS氣體傳感器的電導率就越高。該NH3傳感器使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

  • 氣體類型: 氨氣

產品介紹:

MEMS氨氣傳感器的微熱板是利用MEMS工藝制作的,采用金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料。當環境空氣中有氨氣氣體存在時,MEMS氨氣傳感器的電導率會發生變化。氨氣氣體的濃度越高,MEMS氣體傳感器的電導率就越高。該NH3傳感器使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

產品參數:

氨氣檢測范圍:0-300ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH:2.8V士0.1V AVorDC

負載電阻RL:可調

加熱電阻RH:80?土20?(室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1K?~30K?

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH土5%RH

標準測試電路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V

圖片關鍵詞

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